公布日期：2019-07-07
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用微机器加工技能制造的典范产物是硅微型压力传感器，对此美国日本和欧洲均已构成财产。硅微型压力传感器近几年来开展很快，该传感器次要使用于汽车产业和医疗保健范畴。
硅微型压力传感器的特点是体积小，分量轻，没有运动部件，牢靠性高，又能大范围消费该传感器，以是造价低。高牢靠性，低本钱关于汽车产业的要求可以说黑白常合适的，因而在汽车产业中敏捷扩展了它的使用范畴。
如主动刹车条理的压车面压力，轮胎压力，气囊压力，传动条理流体压力，注入条理流体压力，注入燃料压力，发起机机油压力。进气管道压力都有硅微型压力传感器额用武之地。
硅微型压力传感器在医疗保健范畴里的最大使用产物是血压监督器。据称一些大的医疗机器制造上每年要运用近500万只压力传感器。别的，如妇女难产时监控子宫压力用的硅微型压力传感器，静脉注射监控药液活动的传感器等都是有相称数目的市场需求。其他很多医疗保健方面的使用也正在不时开辟中。
硅微型压力传感器根本上分红两类：电容式和压阻式。电容式的压力传感器包罗一个薄膜，它作为可变氛围电容器的一个极板，当薄膜上接受压力时，薄膜发生位移，从而改动电容值，应用这种变革颠末相应的电路处置，就可失掉压力值。压阻式传感器运用硅资料接受压力时会发生电阻变革的原理制成，普通将4个硅资料的应变电阻组成惠斯通电桥来丈量压力。
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